9.38 亿元！ASML 第一台全新 EUV 极紫外光刻机交付

作为全球第一光刻机供应商，荷兰 ASML ( 阿斯麦 ) 今天公布了 2021 年第二季度财报。

当季，ASML 净销售额 40 亿欧元，毛利率 50.9％，净收入 10 亿欧元，净预订额 83 亿欧元，其中EUV 极紫外光刻机就有 49 亿欧元，而总的积压订单金额已达 175 亿欧元。

ASML 在财报中还披露，第一台全新 TWINSCAN NXE:3600D EUV 光刻机系统已经交付给客户，相比之前的 NXE:3400C 生产力提高了 15-20％，覆盖率（套刻精度）提高了约 30％。

不过，ASML 未透露接收客户是哪一家。

ASML 还表示，正努力增加 EUV 光刻机在存储行业的量产应用，计划协助三个 DRAM 内存芯片客户在未来的工艺节点中导入 EUV。

ASML EUV 光刻机目前还是第一代产品，EUV 光源波长 13.5nm 左右，物镜 NA 数值孔径 0.33，并发展了一系列型号。

最早量产出厂的是 NXE:3400B，产能有限，晶圆产能只有 125PWH，目前的出货主力是 NXE:3400C，产能提升到 135WPH，而最新的 NXE:3600D 产能进一步提升到 160WPH，价格据说也达到了 1.45 亿美元 ( 约合人民币 9.38 亿元 ) 。

第二代 EUV 光刻机将会是 NXE:5000 系列，物镜 NA 提升到 0.55，进一步提高光刻精度，但原计划 2023 年问世，现在推迟到 2025-2026 年，而价格预计将突破 3 亿美元。

第三季度，ASML 预计净销售额 52-54 亿欧元，毛利率 51-53％。